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光刻膠系列——精準控制,助力半導體制造

來源:托托科技(蘇州)有限公司   2025年03月17日 15:17  

光刻膠系列——精準控制,助力半導體制造

在半導體制造領域,光刻膠的品質直接關系到電路圖案的精度和可靠性。我們為您提供了一系列高品質的光刻膠產品,滿足不同工藝需求,助力您實現半導體制造。

一、高分辨率光刻膠——精細圖案,輕松實現

S1800 G2系列光刻膠,包括S1805 G2、S1813 G2、S1818 G2等型號,是高分辨率正膠,膠厚范圍0.4-2.7um。它們具有優異的粘附性和極限線寬0.5um,適用于小線寬雙層膠lift-off工藝,與LOR/PMGI系列搭配使用,實現精細圖案。


二、SPR955-CM系列光刻膠——極限線寬,挑戰精度極限

SPR955-CM系列光刻膠,膠厚范圍0.7-3.5um,極限線寬可達0.35um。該系列光刻膠粘附性好,適用于高精度圖案制作。


三、ROL-7133與SUN-lift 1303光刻膠——國產優質,性價比高

作為國產光刻膠的代表,ROL-7133和SUN-lift 1303均為常用負膠,適用于g/h/ i-line光源,膠厚范圍2.2-4um。它們底切角度適中,可用于lift-off工藝制作金屬電極或導線。


四、多用途光刻膠——滿足多樣化需求

AZ 5214E、AZ 4620、AZ MIR 701/703、SU-8等光刻膠,分別適用于正性薄膠、正性厚膠、高分辨率正膠和高深寬比負膠等多種場景。無論是做絕緣層、微流控,還是干法/濕法刻蝕、電鍍等工藝,都能找到合適的光刻膠。


五、特殊工藝光刻膠——專業定制,助力創新

AZ nLOF 2000系列、SPR220系列、AZ 1500系列光刻膠,專為特殊工藝設計。無論是耐高溫Lift-off工藝,還是雙層膠lift-off工藝底層膠,都能提供專業支持。


此外,我們還提供圖形反轉膠、電子束光刻膠、LOR光刻膠、PMGI SF光刻膠等多種產品,滿足正性光刻膠、負性光刻膠、厚光刻膠、薄光刻膠、紫外光刻膠、底層膠等多種需求。

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