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高純氣體露點變送器的特點及選購建議

來源:珠海恒智電子科技有限公司   2025年02月26日 16:35  
高純氣體露點變送器是一種專為測量和控制高純氣體(如半導體制造中的關鍵氣體)中的微量水分而設計的精密儀器。以下是關于高純氣體露點變送器的詳細介紹:
 
一、工作原理
 
高純氣體露點變送器的核心在于其先進的露點傳感器。該傳感器能夠精準地檢測氣體中的微量水分,主要基于阻抗技術,即水分子在特定材料上的吸附會導致電導率變化,通過測量這一變化即可確定露點。傳感器內部的多孔層能夠吸收氣體中的水分子,這些水分子的數量與氣體中的水蒸氣分壓成正比,進而影響了傳感器內部的電導率。
 
二、主要特點
 
高精度測量:高純氣體露點變送器能夠提供±0.1°C或更高精度的水分含量測量,確保高純氣體的品質穩定。
 
超低檢測限:能夠測量極低的露點溫度,如-120°C(相當于不到1ppbV的水分含量),滿足高純氣體應用中的嚴格要求。
 
快速響應:迅速響應濕度變化,實現實時監控與控制,確保工藝過程的穩定性。
 
長期穩定性:具備長期的校準穩定性,減少頻繁校準的需求,降低維護成本。
 
抗污染性能:有效防止氣體污染,確保測量結果的準確性。
 
多種輸出方式:提供4~20mA、RS-485、以太網或無線通信等數字通信接口,便于集成到自動化系統中。
 
用戶友好界面:配備直觀的用戶界面,包括觸摸屏和圖形顯示,簡化設置與操作。
 
三、應用領域
 
高純氣體露點變送器在多個高科技行業中發揮著至關重要的作用,如半導體制造、光纖生產等,為高純氣體的生產和處理提供了關鍵的濕度監測與控制手段。在這些行業中,氣體中殘留的微量濕氣對工藝過程的正常運行具有決定性影響,因此需要使用高純氣體露點變送器進行實時監測和控制。
 
四、選購建議
 
品牌選擇:選擇品牌的高純氣體露點變送器,如MichellPura等,以確保產品的質量和性能。
 
測量范圍:根據實際需求選擇合適的測量范圍,確保測量結果的準確性。
 
精度要求:根據工藝過程的精度要求選擇合適的精度等級,以滿足生產需求。
 
售后服務:選擇提供良好售后服務的供應商,以確保在使用過程中得到及時的技術支持和維修服務。

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