氣相色譜儀在電子特氣純度分析中發揮重要作用,分析%含量到 ppm 級別雜質可選擇 TCD 檢測器、FID檢測器加甲烷轉化爐的方案進行分析，而對于ppb 到 ppm 級別的痕量物質分析普瑞GC-9280氣相色譜儀配有專用的 PDHID檢測器實現痕量、常量雜質的全面檢測。

儀器配置:

兩閥三柱 PDHID 檢測器

樣品信息:

H₂,N₂,CH₄,CO

檢測下限:

N₂ 檢測下限 5ppm,其余為0.1ppm

對垂應的標準方法:

GB/T 14599-2008:GB/T14604-2009

控制方式:

空氣驅動閥&電動驅動閥

典型譜圖

特征和優勢

u 15min 內完成高純氣體分析

u 中心切割技術，放空大量高純氣體，檢測微量氣體雜質

u 反吹技術，放空CO₂,H₂0，避免色譜柱被破壞

u 壓力控制器(APC)確保樣品重現性良好

u Lab-solution 采用“一體化數據結構模式”，對儀器、閥的控制、數據采集、處理更加簡單