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適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年11月25日 10:47

適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析

這是配備光譜儀的標準型號，非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計。可以進行非接觸式測量，因此您不必注意涂層工作表面。

它涵蓋了廣泛的測量波長和可測量的薄膜厚度。

可測量波長：380nm～1050nm
可測量膜厚：100nm～60μm

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反射分光膜厚計AFW-100W

反射分光式膜厚計測量原理

當光線照射在透明薄膜上時，在薄膜表面反射的光（R1）與在薄膜內部折射并在基材表面反射的光（R2）重疊，導致光線增強或減弱。

這種現象稱為“光干涉” 。當光的相位匹配時，強度增加，而當相位偏移時，強度減小。

右圖是“光干涉”的圖像。 “反射分光膜厚計”是通過分析該光的干涉（波長）來測量膜厚的方法。

反射光譜膜厚測量原理

求使測量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。

推薦在波紋數為3個以下時使用（膜厚約1μm）。

通過FFT計算確定某一波長寬度內表示膜厚的干涉波形的數量，并由此導出一個周期的波長寬度。

建議在有3個或更多波紋時使用（膜厚約1μm）。

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