原理

照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置計算出被測樣品的相對高度，從而得到樣品表面的三維尺寸信息。如下圖所示。

白光干涉儀的優(yōu)點

非接觸式測量，不損傷樣品；

測試效率高，幾秒鐘成像，自動分析結(jié)果；

高度方向分辨率高，在不同物鏡下均可達(dá)0.1nm，實現(xiàn)亞納米級的測量；

優(yōu)異的重復(fù)性；

分析功能強大，簡便易用；

優(yōu)異的擴展性。

白光干涉儀的作用

可以進(jìn)行膜厚測量，溝槽測量，翹曲分析，表面粗糙度測量，表面高度及盲孔測量，樣品表面圖案尺寸測量等。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，光學(xué)器件，太陽能電池，MEMS，生命科學(xué)，材料學(xué)等行業(yè)。

布魯克白光干涉儀介紹

WYKO白光干涉儀誕生于1982年，2010年加入布魯克，與布魯克強強聯(lián)合，經(jīng)過40多年技術(shù)不斷發(fā)展及革新，布魯克白光干涉儀已經(jīng)逐步在行業(yè)中內(nèi)有良好口碑。且：

3項 美國R&D 100 大獎

6項 Photonics Circle of Excellence Awards大獎

根據(jù)不同的應(yīng)用場景及樣品情況，布魯克有以下等多個型號供用戶選擇：

ContourX-100                                ContourX-200

ContourX-500                             ContourX-1000   

NPFLEX-1000                                    ContourSP

應(yīng)用及效果

布魯克白光干涉儀的應(yīng)用及效果

表面粗糙度測量

表面高度測量

表面高度及盲孔測量

溝槽自動分析

三維實時測量

表面翹曲測量

軟件界面分析

       布魯克白光干涉儀因其操作簡便，分辨率及重復(fù)性良好，軟件分析功能強大，且售后服務(wù)專業(yè)及時等優(yōu)點，從而成為形貌測量工程師的選擇，并被廣泛運用于半導(dǎo)體，光學(xué)器件，太陽能，微電子，材料學(xué)等各個行業(yè)。