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ICP光譜分析儀，主要用于微量/痕量元素的分析，可分析的元素為大多數的金屬和硅，磷等少量的非金屬，共72種。廣泛應用于稀土、貴金屬、合金材料、電子產品、醫藥衛生、冶金、地質、石油、化工、商檢、環保以及釹鐵硼、硅、硅鐵、鎢、鉬等行業分析檢測，可對待測樣品進行定性或從超微量到常量的定量分析。
ICP發射光譜儀的構成
1、進樣系統
進樣系統是ICP儀器中極為重要的部分，也是ICP光譜分析研究中的領域，按試樣狀態不同可以分別用液體、氣體或固體直接進樣。
2、電感耦合等離子體光源(ICP)
3、光譜儀的分光(色散)系統
復合光經色散元素分光后，得到一條按波長順序排列的光譜，能將復合光束分解為單色光，并進行觀測記錄的設備稱為光譜儀。
4、檢測器--光電轉換器件
光電轉換器件是光電光譜儀接收系統的核心部分，主要是利用光電效應將不同波長的輻射能轉化成光電流的信號。
ICP發射光譜儀的工作過程
ICP發射光譜法包括了三個主要的過程，即：
由plasma提供能量使樣品溶液蒸發、形成氣態原子、并進一步使氣態原子激發而產生光輻射；
將光源發出的復合光經單色器分解成按波長順序排列的譜線，形成光譜；
用檢測器檢測光譜中譜線的波長和強度。
由于待測元素原子的能級結構不同，因此發射譜線的特征不同，據此可對樣品進行定性分析；而根據待測元素原子的濃度不同，因此發射強度不同，可實現元素的定量測定。
開機測定前，必須做好安排，事先標好各項準備工作，切忌在同一段時間里開開停停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬時電流大大高于運行正常時的電流，瞬時的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過早老化等，因此使用中需要倍加注意，一旦開機就一氣呵成，把要做的事做完，不要中途關停機。
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