近年來，精密測量技術發展迅速，成果喜人。例如在線測量技術，已可進行加工狀態的實時測量與顯示，及時檢測加工是否出現異常狀況，從而可大幅度提高生產效率。
在高精度加工和質量管理過程中，隨著光機電一體化、系統化的發展，光學測量技術有了迅速發展，相應的測量機產品大量涌現，測量軟件的開發也日益受到重視。

近年來，利用光學原理開發的非接觸測量機及各種裝置非常多。如MARPOSS公司的非接觸式工具測量系統MidaLaser就是采用激光測頭的新型測量機，該機可在CNC機床保持運轉的情況下自動對所有工具進行非接觸測量，并可根據測得值對工具進行自動定位。索尼精密工程公司的非接觸形狀測量機YP20/21也是利用半導體激光高速高精密自動聚焦傳感器的形狀測量機，所有刻度尺均系標準元件，傳感器和載物臺均由微型計算機控制，具有優異的操作性能和數據處理功能。YKT公司銷售的非接觸三坐標測量系統Zip250是一種高剛性、高速、高精密的新型測量機。該機載物臺的承載量為25kg，刻度尺的分辨力（X、Y、Z軸）均為0.25μm。機上裝配了帶數碼法蘭盤的CCD攝像機和DSP處理器，因此可進行高速圖像處理測量，同時也可與接觸式測頭并用進行相關測量。

隨著非接觸、率測量機的大量出現，專家預計，21世紀測量技術的發展方向大致如下：

（1）測量精度由微米級向納米級發展，測量分辨力進一步提高；

（2）由點測量向面測量過渡（即由長度的精密測量擴展至形狀的精密測量），提高整體測量精度；

（3）隨著圖像處理等新技術的應用，遙感技術在精密測量工程中將得到推廣和普及；

（4）隨著標準化體制的確立和測量不確定度的數值化，將有效提高測量的可靠性。

總之，測量技術必須實現高精度化，同時也要求實現高速化和率化，因此，非接觸測量和率測量也必然成為新世紀精密測量技術的重要發展方向。