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HMDS真空烘箱

來源:北京中科博達(dá)儀器科技有限公司   2019年06月06日 08:37  

HMDS真空烘箱

產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè),HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。    

一、產(chǎn)品規(guī)格:

 型號:BD/HMDS-6090   內(nèi)形尺寸:450×450×450    

 型號:BD/HMDS-6210   內(nèi)形尺寸:560×640×600  

 

二、 技術(shù)參數(shù):

 1、控溫范圍:RT+10~250℃ 

 2、溫度分辨率:0.1℃

 3、溫度波動度:±1℃

 4、達(dá)到真空度:小于133Pa

 5、真空度:100Pa~100000Pa

 6、定時范圍:1~9999min

 7、工作室材料:316L

 8、樣品架:2塊、3塊

 9、真空泵:4L/S

 10、電源電壓:220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制

 11、總功率:3000W、4500W

 

三、HMDS真空烘箱產(chǎn)品特點:

 1、外殼采用冷軋鋼板制造,表面靜電噴塑。內(nèi)膽、樣品機(jī)、連接管路均采用不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

 2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。

 3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

 

四、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程:

 1、首先確定烘箱工作溫度;

 2、預(yù)處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到達(dá)到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮氣的過程,到達(dá)設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分;

 3、再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng);

 4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。

 

五、控制系統(tǒng):

 1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,三菱PLC控制器;

 2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器,控溫可靠;

 

六、保護(hù)系統(tǒng):

 1、漏電保護(hù);

 2、超溫保護(hù);

 3、缺液保護(hù);

              

七、設(shè)備使用條件:

 1、環(huán)境溫度:5℃~+28℃(24小時內(nèi)平均溫度≤28℃)

 2、環(huán)境濕度:≤85%R.H

 3、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;

 

八、HMDS真空烘箱服務(wù)承諾:

 保修十八個月,免費送貨上門,在對該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場對相關(guān)技術(shù)人員免費做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限。

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