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奧林巴斯OLYMPUS MX63L顯微鏡在FAB廠中的應(yīng)用

來(lái)源:蘇州銳納微光學(xué)有限公司   2019年01月09日 10:52  

奧林巴斯OLYMPUS MX63L顯微鏡在FAB廠中的應(yīng)用

半導(dǎo)體這個(gè)大家在熟悉不過(guò)的一個(gè)名字,它的應(yīng)用在我們生活中的各個(gè)方面,小到手表手機(jī),大到汽車(chē)飛機(jī)宇航船等!隨著檢測(cè)工藝要求的提高,對(duì)半導(dǎo)體精度和體積都有了非常高的要求,其中晶圓片(IC)生產(chǎn)工藝已經(jīng)達(dá)到納米的級(jí)別,那么對(duì)晶圓檢測(cè)都使用什么來(lái)進(jìn)行檢測(cè)呢?

首先晶圓有4寸,6寸,8寸,12寸,現(xiàn)階段主流的是8寸晶圓,在對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)使用的是光學(xué)顯微鏡,其放大倍數(shù)到1000倍,主要是觀察表面是否有劃痕劃傷等表面檢測(cè),OLYMPUS MX63L搭載12寸平臺(tái),也就是說(shuō)這個(gè)顯微鏡可以檢測(cè)所有尺寸的的晶圓片。

FAB廠中因?yàn)樯a(chǎn)量大,而且還要對(duì)每一個(gè)晶圓片進(jìn)行檢測(cè),所以OLYMPUS MX63L還可以和晶圓半送機(jī)配套使用,這樣就減少了人用手來(lái)接觸而造成污染。

生產(chǎn)工藝要求越來(lái)越高,所有配備的OLYMPUS MX63L顯微鏡可以在生產(chǎn)中得到率,提升晶圓的良率!

 

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