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碳酸是一種弱酸，但由于超純水中無任何主導型的相對強酸、強堿、共軛酸、共軛堿，碳酸就成為了*主導型的弱酸，也是*H+離子的來源（忽略掉H2O的解離）。

CO2(g)+H2O(l) ? H2CO3(l)

當超純水開始曝露在大氣下時，二氧化碳的溶解就會無可避免的持續下去，我們可以用電阻率的變化來監測這個過程。實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1個小時后水質就會下降至4MΩ.cm左右。

所以，超純水能現場使用，任何方式的貯存或久放，除了會有容器本身造成的污染外，空氣中的懸浮粉塵、揮發性有機物、微生物等污染及二氧化碳造成的電阻率下降，pH下降都是無法避免的。另外，久存的超純水，TOC （總有機碳）及微生物也都有快速升高的隱憂，超純水還是得即取即用。