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SUPEC 2050半導體AMC綜合監測系統由采樣預處理子系統、氣體監測子系統以及輔助設備和數據采集與處理子系統等構成，如下圖所示。

采樣預處理子系統由多路樣氣傳輸管、采樣泵和分布式多通道采樣儀組成，可以對多個點位進行不間斷實時采樣，并通過管路切換實現不同采樣點樣氣的循環監測。
氣體監測子系統由多個分析儀組成，可以根據不同的監測需求進行定制化的搭配，實現不同物質的在線監測。
輔助系統由集成機柜和校準單元組成，可以保證整套系統的正常運行，校準單元可以定期對系統進行校準，保證監測數據的穩定和準確。
數據采集與處理子系統可以監控查詢所有測量信息和系統工作狀態信息，并將監測數據傳輸至企業的中控平臺。