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超臨界干燥技術是指在干燥介質臨界溫度和臨界壓力條件下進行的干燥，是近年來發展起來的化工新技術，可以應用于超細微粒的制備。

液體在凝膠網絡毛細孔中易形成附加壓力，由于強烈的毛細管收縮力使網絡結構坍塌。采用常規干燥法會使干燥物開裂。

超臨界干燥可消除毛細管附加壓力，可防止干燥物開裂現象，保持凝膠原來網絡結構，防止超微粒子凝聚。

但是根據干燥介質的特定臨界參數，需要對裝置中的溫度和壓力進行調節，因此對設備要求較高，在大規模應用時干燥用的介質是多采用二氧化碳，而二氧化碳的保存需要低溫，故而測地錄取高，同時該方法制備周期長。