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超聲化學法是近發展起來的一種制備超細粉體材料的方法，它是利用超聲空化能量加速和控制化學反應，提高反應產率和引發新的化學反應的一門新的邊緣交叉學科。

新型超聲噴霧法與傳統的超聲化學方法具有明顯的不同。首先在超聲波的作用下利用超聲空化能量把一種溶液轉化成具有一定能量的微霧狀液滴而大面積噴灑到另一化學反應溶液中。得到的微霧氣是一種均勻細小的液體小顆粒，且具備了一定的能量，當大面積噴射到另一液體進行化學反應時，可望獲得均勻、細小的納米粉體。

其霧化原理是當超聲波從進液口經傳導到達出液口的溶液表面時，液-氣分界面即溶液表面與空氣交界處在受到垂直于分界面的超聲波的作用后，由于超聲波的作用（即能量作用），使溶液表面形成張力波，隨著表面張力波能量的增強，當表面張波能量達到一定值時，在溶液表面的張力波波峰也同時增大使其波峰處的液體霧粒飛出。