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噴霧冷凍干燥裝置常見有三種：常壓循環噴霧冷凍干燥、鹵化碳噴霧冷凍干燥、液氮噴霧冷凍干燥。

Briggs等發明了鹵化碳蒸汽噴霧冷凍干燥技術，使用含CFC或碳氟化合物作為冷卻劑，噴嘴處于CFC液面10~25cm以上。

Buxton等發明了噴入鹵化碳液體冷凍的方法，和以上方法不同之處是噴嘴*浸于鹵化碳液體中，在噴霧過程中需要對噴嘴進行加熱以防噴嘴凍結堵塞。位于裝有鹵化碳液體容器底部的噴嘴將料液噴出，由于直接接觸冷凍液，液滴迅速冷卻凝固上浮于鹵化碳液體表面，通過冷凍干燥收集上浮顆粒。

研究者使用三氯乙烷、三氯乙烯和二氯甲烷等作為冷卻劑，但是這些冷卻劑在藥物*凝固之前就能溶解部分藥物成分，影響了處方的效果。

Kennedy等做了進一步的研究，使用液體冷凍劑由于沒有液氮大范圍的氣帶，顆粒的凍結時間相對較短，僅為9~36ms，而當凍結時間小于12ms時，能使相分離的程度達到zui小化，可以zui大限度的降低對處方效果的影響，達到與使用液氮相同的處方效果，這為提高SFD操作溫度提供了依據。