1.經常檢查油位位置，不符合規定時須調整使之符合要求。以真空泵運轉時，油位到油標中心為準。
2.經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油，確保真空泵工作正常。
3.換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。
4.一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。
5.有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。
6.重新裝配后應進行試運行，一般須空運轉2小時并換油二次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發物，待運轉正常后，再投入正常工作。
7.檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。用手轉動真空泵，試看真空泵是否靈活。
8.向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。
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