稀有氣體質譜儀可以用于稀有惰性氣體Ar、He、H2、SF6及H2S等氣體的示蹤分析，可以進行Ar、He、H及其同位素的體積濃度的測定和和示蹤分析。
目前，本儀器適用于煤巖動力災害孕育及發生過程中放射性元素的析出、衰變的監測，同時也可服務于采礦、地質、環境等學科，可進行地質年代測定（如構造變形、火山噴發、變質作用、沉積作用、巖體冷卻、山體抬升、盆地沉降）、地質及火山事件確定，以及海水、有機物及巖體中惰性氣體He等的分析。
稀有氣體質譜儀包括：氣體進樣系統、質譜分析系統、校準系統、控制系統和軟件系統、外設等模塊組成。
主要特點：
1、稀有氣體質譜儀可同時測量氦同位素，無需跳峰掃描，減少了分析時間，獲得了更高的精度和產出效率；
2、豐度靈敏度：由于HELIX SFT的設計，質量4對質量3的貢獻小于1ppb；
3、體積：HELIX SFT的內部體積約1400cc，這是當前技術的重要提升；
4、分辨率：低質量數接收器，通常用來測定3He，其分辨率大于700，這保證了3He能夠和兩個干擾峰HD和H分開；
5、放大器擁有不同的動態范圍范圍使大部分分析都能在長壽命的法拉第接收器上進行。
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