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質譜分析法是通過對被測樣品離子的質荷比的測定來進行分析的一種分析方法。被分析的樣品首先要進行離子化，然后利用不同離子在電場或磁場運動行為的不同，把離子按質荷比（m/z）分開而得到質譜，通過樣品的質譜和相關信息，可以得到樣品的定性、定量結果。

典型的質譜儀，一般由樣品導入系統、離子源、質量分析器和檢測器組成，此外，還含有真空系統和控制及數據處理系統等輔助設備。

1、樣品導入系統：直接進樣或接其他儀器，用于樣品的引入。

 

2、離子源：用于將樣品離子化。

 

3、質量分析器：用于將不同質荷比的離子分離開，讓他們逐個進入檢測器，或只篩選特定質荷比的離子進入檢測器。這里需要注意的是，雖然在一種穩定的電場/磁場下，不同質荷比的離子也可以實現分離，落在不同的位置，但這樣需要大量的檢測器原件，且極大限制了質譜分辨率，是非常不現實的，實踐中，都是通過改變電磁場，使不同質荷比或質荷比的離子逐次進入同一檢測器。

 

4、檢測器：通常是電子倍增管或其他，將離子的數量轉化為電信號的大小。

5、真空系統：用于維持質量分析器至檢測器部分的高真空狀態，使離子能夠在電磁場作用下自由飛翔，避免離子在運動途中發生碰撞，導致信號丟失或產生虛假信號。真空系統可以說是質譜儀運行的基礎。

 

6、數據處理系統：處理檢測器捕獲到的電信號，獲得質譜圖，并進一步處理得到所需信息。