HORIBA S48-32/HMT 熱式質量流量控制器（MFC）

產品簡介

HORIBA S48-32/HMT 是一款廣泛應用于半導體、光伏、LED、LCD 等行業的高精度熱式質量流量控制器。該產品采用熱式傳感原理和先進的數字控制算法，具備快速響應、高精度控制和多種信號接口等特點，是工藝氣體輸送與控制系統中重要的核心設備之一。

產品特點

• 熱式質量流量計測量原理，適合高純氣體及腐蝕性氣體的精確控制

• 快速響應時間：小于1秒，顯著提升工藝反應速度

• 高精度控制：保證±1.0% S.P. 或 ±0.3% F.S. 精度，滿足苛刻工藝要求

• 多種通信協議可選：支持模擬信號（0–5V、4–20mA）與數字通信（RS-485、PROFIBUS 等）

• 金屬封裝結構：主體采用316L不銹鋼材質，兼具氣密性和耐腐蝕性

• 安裝靈活：支持水平或垂直安裝，適用于多種空間限制場景

• 全自動化兼容：可輕松集成進現有PLC、DCS或半導體設備控制系統

技術參數

• 測量原理：熱式質量流量計（Thermal Mass Flow Meter）

• 控制方式：基于可變 PID 的閉環控制

• 流量范圍：10 SCCM ～ 50 SLM（具體范圍需根據氣體類型和設定選擇）

• 適用氣體：氮氣（N?）、氬氣（Ar）、氧氣（O?）、氫氣（H?）、四氟化碳（CF?）、三氟化氮（NF?）、六氟化硫（SF?）、硅烷（SiH?）、磷烷（PH?）等多種腐蝕性和非腐蝕性工藝氣體

• 精度范圍：

• 當設定值大于 30% 滿量程時：±1.0% of Set Point

• 當設定值小于或等于 30% 滿量程時：±0.3% of Full Scale

• 響應時間：小于 1 秒

• 通信接口：

• 模擬信號：0–5V、0–10V、4–20mA（電壓或電流型可選）

• 數字通信：RS-485（F-NET 協議）、PROFIBUS 等

• 電源需求：

• 模擬型：±15V DC

• 數字型：24V DC

• 環境溫度：工作溫度范圍 5°C ～ 50°C

• 外形尺寸：約 81.8 毫米（寬） × 30.5 毫米（厚） × 126 毫米（高）

• 重量：約 1.2 公斤

• 材質：316L 不銹鋼 + 金屬密封結構

• 安裝方式：支持面板式或機架式安裝

• 認證標準：CE、RoHS 等（根據型號確定）

應用領域

• 半導體制造設備中的氣體注入系統（Etching、CVD、ALD）

• 光伏電池組件的氣體控制系統

• OLED/LCD 面板制造工藝流程

• 精密氣氛控制實驗裝置

• 等離子體工藝中的高純氣體調節

• 化工與材料科學研究領域的過程控制

型號說明

HORIBA S48 系列包括多個子型號，典型型號如下：

• S48-32/HMT：標準型，支持模擬和數字通信接口，適配通用工業或半導體設備

• S48-28/HMT：流量范圍或接口特性有所不同，需確認具體選型參數