該晶圓配有熱電偶，用于測量半導體制造設備和輔助設備開發(fā)和檢查中的溫度分布。

• 它非常適合測量晶圓的溫度分布和控制溫度。

• 所有產(chǎn)品均為接單生產(chǎn)。

• 制造設備和輔助設備（熱板、基座等）的開發(fā)和檢查

• 設置制造條件

• 監(jiān)控制造過程

• 提高生產(chǎn)率（優(yōu)化周期時間等）

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2025.3.13