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功能特點

■ 可以實現高溫、真空、氣氛等條件下測量薄膜方塊電阻;

■ 可以實現常溫，變溫，恒溫條件的 I-V、R-T、R-t等測量功能;

■ 可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動計算樣品的電阻率ρv;

■ 可以分析電阻率ρv與溫度T的變化的曲線;

■ 可以與Keithley 2400或2600數字多用表配套;

為了更方便的研究高溫條件下半導體或***緣材料的導電性能，佰力博科技已經研發出HRMS-800G高溫四探針測量系統，該系統可以測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻,,該設備按照單晶硅物理測試方法***家標準并參考美*** A.S.T.M 標準而設計的，于變溫、真空及氣氛條件下測試半導體材料電學性能的佳測量系統。

■ 技術規格