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智能氣路控制儀
  • 智能氣路控制儀
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-02-04 21:00:07

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便攜式智能氣路控制儀是基于熱式氣體質量流量控制器,來進行四種氣體(強腐蝕性氣體除外)混合,濃度稀釋的一種裝置。可根據客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍,并利用軟件進行控制。

智能氣路控制儀是基于熱式氣體質量流量控制器,來進行多種氣體混合,濃度稀釋的一種裝置。可根據客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍,并利用軟件進行控制。


產品優勢:

? 流量監測、記錄                  ? 自動多段進氣

? 濃度自動配比                   ? 多種氣體可選

? MFC 故障監測                   ? 超壓檢測與報警處理

? 無線通訊控制(可定制)             ? 手機APP監測(可定制)


產品參數:

產品名稱

智能氣路控制儀

項目

參數

備注

流量范圍

標準四路

100SCCM  500SCCM  2SLM  5SLM

(其他量程可定制,至大量程不超過30SLM)

精度

±1%F.S.

其他精度可選

響應時間

2秒


重復性

0.2%F.S.

單路重復精度0.2%F.S.

截止功能

≤0.6MPa

標配,位于總出氣口,常閉截止閥

整機尺寸

490mm×500mm×200mm

深×寬×高

供電電壓

220VAC

100W

單項功能

4路標配,位于混氣前,避免氣體返流

自動進氣

4路標配,按時間和流量自由編輯

10段數據點,3組數據切換,任意循環(定制)

可實現:濃度配氣,時間配氣,壓力配氣

自動報警

標配,自動報警,自動關斷,實時監控設備狀態

數據處理

標配,數據記錄保存,導出到U盤進行存儲

外接通訊

可選

MODBUS-RTU

漏率

<1×108atm.cc

/sec He






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