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氣體MFC是熱式質量流量計。氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質量流量進行精密測量和控制；應用領域：中流量，適用于材料科學、納米傳感器、環境科學及催化評價等研究。
產品特點（優勢）：
氣體MFC具有穩定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高等優點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數字信號轉換器（AD/DA轉換器）配合計算機使用。
產品參數：
產品名稱 | 氣體質量流量控制器WGL-5180（模擬） | |
基本型號 | WGL-5180 | WGL-5180M |
流量規格①(N2標定) | 0～10,50,100,500 SCCM 0～15,20,25,30 SLM | |
調節閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2~100)%F.S.或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
準確 | ±1％F.S. (≤15SLM) ±2％F.S. (＞15SLM) | |
重復精度 | ±0.2%F.S. | |
響應時間 | ≤2sec | ≤1sec |
工作壓差范圍 | 0.05～0.3MPa （<2SLM） 0.1～0.3MPa （2SLM-10SLM） 0.15～0.3MPa（>10SLM） | ＜2MPa |
最大耐壓 | 2MPa | |
工作環境溫度 | 5~45℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號 | 0～+5.00V（輸入阻抗大于100kΩ，輸 出電流不大于3mA) | 0～+5.00V（無輸入信號，輸出電流不 大于3mA) |
供電電源要求 | +15VDC(50mA)，-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
對外單點泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) | |
介質接觸材質 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM | |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭：1/4" 雙卡套型接頭：1/4"、3/8"或φ6、φ10 mm 內螺紋：9/16-18UNF內螺紋（深度＜8mm） | |
凈重量 | 1.00kg | 0.8kg |
注1；滿量程流量不限于表中列出的流量規格,可以在20SLM~30SLM范圍內任選,例如23SLM。 | ||
產品尺寸：
接線定義：
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