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MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
介質要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準確度 ±1% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應時間<3 秒
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門 常閉式
機械特性
最大工作壓力 3 MPa（30bar）
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 -20~65℃（環境和氣體）
濕度范圍 0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型 卡套、VCR、快插、快擰（可選）
氣體接觸材質 氟橡膠、304/316不銹鋼
密封材質 氟橡膠 FKM
防護等級 IP40
安裝方式 水平安裝方向校準
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.96kg
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