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貨物所在地：江蘇蘇州市
所在地： 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)
更新時(shí)間：2025-03-10 13:31:06
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MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%-100% F.S.
準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
傳感器響應(yīng)時(shí)間<1s
預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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