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深圳秋山工業設備有限公司
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當前位置:深圳秋山工業設備有限公司>>元素分析儀>>氮化鋁>> FAN-090/FAN-170/FAN-200日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導體制造設備

日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導體制造設備

參   考   價: 2660

訂  貨  量: ≥100 件

具體成交價以合同協議為準

產品型號FAN-090/FAN-170/FAN-200

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2025-05-08 19:36:13瀏覽次數:588次

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供貨周期 一個月 應用領域 環保,能源,電子/電池,電氣,綜合
日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導體制造設備 FAN-090/FAN-170/FAN-200

半導體制造設備(用于前端工藝)需要應對更小的設計規則和更大的晶圓直徑(300mmφ或更大)。為此,構成設備的部件材料的選擇極其重要。

日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導體制造設備 FAN-090/FAN-170/FAN-200 特點介紹


半導體制造設備(用于前端工藝)需要應對更小的設計規則和更大的晶圓直徑(300mmφ或更大)。為此,構成設備的部件材料的選擇極其重要。

氮化鋁(AlN)是一種平衡良好的材料,具有優異的導熱性、熱輻射(散熱)、抗熱震性和電絕緣性,并且具有與硅晶片相匹配的熱膨脹性。

利用古河電子的燒成技術,我們還能夠制造550mmφ氮化鋁陶瓷部件。我們還將應對更大直徑的晶圓。

具有高導熱率和熱發射率,受熱均勻性高。

它具有抗熱沖擊能力,可以承受快速加熱和冷卻。

與硅相匹配的低熱膨脹。

對氟氣具有優異的耐腐蝕性。


日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導體制造設備 FAN-090/FAN-170/FAN-200 規格參數


半導體制造裝置(CVD、蝕刻等)用各種基座、靜電吸盤、均熱板、真空吸盤、加熱器

虛擬晶圓

目標

化合物半導體制造設備零部件

?熱伝導?熱放射率が大きく、均熱性が高い。?熱衝撃に強く、急熱?急冷に耐える。?Si にマッチした低熱膨張で、溫度変化によるウェーハの変形を防ぎ、また、デポ膜の剝離によるパーティクル発生を低減する。?フッ素系ガス耐食性に優れる。

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