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日本Napson手持式探針無損測量電阻測試儀 EC-80P 特點介紹
只需簡單接觸筆型探針即可進行測量
可在任意位置進行測量，不會損壞樣品
易于操作的手持探針
通過切換測量模式，調整片材電阻和電阻率
可顯示在
通過JOG撥盤輕松設定測量條件
電阻測量探頭按范圍排列
寬敞，支持廣泛的范圍
（電阻探針:最多2根+PN判定探針
同時接続可能）
探頭2~第三條是可選的。
測量光斑直徑（探針芯直徑）:
14mmΦ
日本Napson手持式探針無損測量電阻測試儀 EC-80P 規格參數
芯片樣品；
硅載體、化合物（GaN、GaP）、Epi、
擴散層、SiC等
各種薄膜樣品；
半導體處理膜、金屬膜、ITO膜等
其他
*原則上，如果在測量范圍內，則為
也可以用樣品進行測量。
[電阻率] 1m 至200Ω.cm
(*所有探頭類型的總范圍/厚度500um)
[表面電阻] 10m 至3k2/sq
(*所有探頭類型的總范圍)
*有關每種探頭類型的測量范圍，請參見下文。
(1)低:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω.cm)
(2)中:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω.cm)
(3)高:10~1,000Ω/□(0.5~60Ω).cm)
(4) S-高:1,000-3,0002/□(60-200Ω.m)
(5)太陽能晶圓:5-500Ω2/□(0.2-15Ω.cm)
產品尺寸
·機身:W255xD275xH95mm,4kg
·探頭部分:20mmΦx80mm
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