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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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日本alnair-labs硅片厚度測量儀光學檢查儀 Alnair Labs SIT-200 特點介紹
1、機械損耗低、機械滯后低
2.可制造長行程產品。
3、維護方便
4、結構簡單，不存在常規產品因卡膠而發生故障的現象。
氣缸滑動部位通過小泄漏氣膜進行潤滑，滑動阻力低，磨損極小。
5. 微壓操作
6、壽命長
7、操作油缸部分采用CFRP（增強碳纖維管）制成，重量輕。
8. 抗不平衡負載能力
9. 氣缸桿可承受高負載（直線導軌）
10. 活塞部分使用滾珠襯套與線性導軌集成在一起
日本alnair-labs硅片厚度測量儀光學檢查儀 Alnair Labs SIT-200 規格參數
測定対象物
シリコン基板
厚み測定範囲
10~500 (n=3.5のとき)
μm
測定光源
波長可變光源(1515~1585)
nm
光出力バフ一
0.6、クラス1
mW
ガイド用光源
赤色LD、 クラス1M
計測時間
最小20
ms
測定再現性
0.1以下 (3σにおいて)
μm
モ二タ出力
干涉出力信號
PO インタ一フエ一ス
Ethernet
電源電莊
AC 100-240(50/60 Hz)V
外観寸法(WxHxD)
364x 147x391mm
重量
9kg
工作溫度和濕度 20℃～25℃ 50%RH以下
可制造型號 懸臂式單作用，帶雙滾珠襯套
最小驅動壓力 200pa（低摩擦規格） φ40用
漏氣量 90L/min以下（0.4Mpa時） φ40×200ST用（低摩擦規格）
滯后現象 平均0.6N φ40×200ST
位置負載能力 φ40×200ST 3430N（最大動載荷）
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