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?連相?光源DCLS極紫外光束傳輸系統

      發布時間:2024-11-18
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極紫外光束傳輸系統是?連相?光源(DCLS)光源技術的關鍵系統之?,主要?于將在真空中產?且不能在空 ?中傳輸的極紫外光束?效地傳輸到實驗研究?作站。 創譜儀器承接并完成了該光束傳輸系統的光學設計、 ?程設計 、 在線安裝與集成測試?作,帶光調試結果符合 預期指標要求,已順利交付并投?使?。


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