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產品型號

1600℃三溫區高溫真空管式爐 GSL-1600X-III

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統使用，需自備氣源 （標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

控溫精度高，保溫效果好，溫度范圍大，溫度均勻性高，溫區多，可通氣氛抽真空及安全可靠、 操作簡單等特點。

技術參數

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、氧化鋁陶瓷管： 外徑 ?60mm ，?80mm ，長 1200mm

3、加熱元件： 溫區 I 硅碳棒， 溫區 II 硅鉬棒， 溫區 I 硅碳棒

4 、工作溫度： 1300℃（溫區 I）， 1500℃（溫區 II）， 1300℃（溫區 III）

5 、溫度： 1400℃（溫區 I）， 1600℃（溫區 II）， 1400℃（溫區 III）

6 、控溫精度：±1℃

產品規格

尺寸： 860mm×470mm×720mm；重量： 150kg

標準配件

1

氧化鋁陶瓷管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個

3

真空法蘭

1 套

4

坩堝鉗

1 把

5

高溫手套

1 雙

可選配件

1、高真空系統

2、供氣混氣系統

3、石英管

4、氧化鋁坩堝

5、石英坩堝

6、雙級旋片真空泵

7 、PC 控制軟件