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反射涂層厚度監測儀是一種光學干涉反射光譜涂層測厚儀，它使用微型反射探頭，可應用于從實驗室級別到生產過程中的在線檢查的所有情況。 它具有出色的可維護性，可用于集成到工藝設備和生產線管理應用中。
最多可同時測量 9 種類型的透明膜。
它具有出色的可維護性，可用作工藝設備或生產線管理應用的集成。
例如，在沉積、拋光和蝕刻過程中，它可以用作在線監視器或終點監視器（終點檢測傳感器），從而實現薄膜厚度的實時監控（實時監控）。
它還可用于評估多晶硅的結晶度和多孔薄膜的密度。
探針到被測樣品的距離為 30 mm 時的模擬結果
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