LINTEC林泰克晶片翹曲矯正高溫氣體加熱器HX-0301L北崎熱賣

時間：2025/5/29閱讀：95

小型氣體加熱器（熱交換器）

瞬間高效率流體加熱技術產品HX系列。

該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。

在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。

通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達到穩定加熱的目的。

在半導體制造工藝中，不僅需要對氣體進行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設置質量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結構。LINTEC自主研發的HX系列加熱器具備低壓降結構，適合與質量流量控制器輸出端連接使用。

可最高將250SLM的N2氣體加熱至300℃的小型氣體加熱器。

高溫氣體加熱器
【HX-0301L】

晶片可能會因反復沉積而翹曲。對策之一便是用高溫大流量的熱風進行矯正。如果同時使用兩臺HX-0301系列高溫氣體加熱器，則可以產生300℃、500SLM的高溫大流量，是晶片翹曲矯正的理想選擇。

	流量(N2換算)	壓力損失(N2)	耐壓(G)	使用溫度	接觸氣體部位材質
規格	250SLM	94kPa	1MPa	300℃	SUS316L不銹鋼

※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。