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輕型緊湊型
高速檢查
高靈敏度
用于系統集成
空氣泄漏測試無法檢測到的微小泄漏可以通過使用氦氣進行檢測。
使用氦氣的泄漏測試方法
真空方法 如何對
工件內部進行真空
真空噴涂法
真空罩法
加壓法 對
工件中的氦氣加壓的方法
嗅探器
真空鐘罩法
加壓積分法
轟炸方式（工件沒有加壓口時）
選擇測試方法的示例
每種測試方法的特點
此外，還提供氦氣混合器和氦氣回收裝置，以降低運行成本，因此請單獨與我們聯系。
我們將根據初始成本和運行成本提出建議。
真空法
| 測試方法 | 真空噴涂法 | 真空罩法 |
|---|---|---|
| 檢漏精度 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 |
| 整體測量 | × | ○ |
| 泄漏位置 | ○ | × |
| 自動化 | △ | ○ |
| 初期成本 | ○ | △ |
| 運行成本 | △ | △ |
| 維護成本 | △ | △ |
| 受影響的產品 |  LDS3000 | |
加壓方式
| 測試 方法 | 真空 Bellger 法 | 轟炸方式 | 嗅探器 | 加壓積分法 |
|---|---|---|---|---|
| 泄漏檢測 精度 | 1E-07帕米3 /sec 或更高 | 1E-09Pa?m3 /sec 或更高 | 1E-06帕米3 /sec 或更高 | 1E-05帕米3 /sec 或更高 |
整體測量 | ○ | ○ | × | ○ |
泄漏位置識別 | × | × | ○ | × |
| 自動化 | ○ | ○ | △ | ○ |
| 初期 成本 | × | ○ | ○ | △ |
| 運行 成本 | × | △ | × | × |
| 維護成本 | × | × | △ | △ |
| 受影響的產品 | LDS3000 |  P3000（XL） 系列 | LDS3000AQ | |
測試方法詳細信息
真空法
真空噴涂法
這是一種通過對工件內部進行真空排氣，用噴槍從外部噴射氦氣時，檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
真空罩法
這是一種對工件內部進行真空抽真空并用罩蓋住，并在罩內對氦氣加壓以檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
加壓方式
嗅探器
這是一種在對工件內部進行真空抽吸后對氦氣加壓，然后用吸槍探頭將泄漏到外部的氦氣吸出以檢測泄漏的方法。
真空鐘罩法
這是一種將工件放置在腔室中，對工件進行抽真空，然后對氦氣加壓，對腔室內部進行抽真空以將泄漏到真空室中的氦氣排出的方法。
加壓積分法
這是一種將工件放入罩中，對工件進行抽真空，并對氦氣加壓，以將從泄漏點泄漏到罩內的氦氣積累一段時間，并檢測罩中積聚的氦氣（濃度）的方法。
轟炸方式
這是將工件放入罐中，抽真空一定時間，用氦氣加壓一定時間，然后將工件從罐中取出，將工件放入腔室中，對腔室進行抽真空，以檢測因泄漏而進入工件的氦氣。
泄漏測試設備 加壓積分法
加壓積分法電路配置
氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置
氦氣檢測傳感器原理
180° 磁場脫毛質譜儀
進入LDS3000AQ的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴散現象到達分析管。
到達分析儀的分子被細絲的電子轉化為 + 離子，然后通過加速電壓向 - 方向移動。
+ 當離子通過磁場時，軌道根據氣體的質量進行劃分。
只有帶有 + 離子的氦氣到達離子收集器，并被前置放大器放大為電流進行測量。
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