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日本SAKAGUCHI坂口電熱激光平板瞬時加熱裝置EXL-CT-010-DS55系列資料

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湖南中村貿(mào)易有限公司
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日本SAKAGUCHI坂口電熱激光平板瞬時加熱裝置EXL-CT-010-DS55

ExLASER激光®

ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。

長處

可以實(shí)現(xiàn)超快的溫度上升和下降。

一次性均勻加熱 2 英寸基板

只有要加熱的物體才能直接加熱。

可根據(jù)工藝進(jìn)行溫度控制

在不加熱大氣的情況下節(jié)能

應(yīng)用實(shí)例

MBE設(shè)備的基板加熱

晶圓退火（SiC、GaAs等）

可以對多層器件進(jìn)行表面退火（與小型化器件兼容）

成就事例

日本原子能機(jī)構(gòu) 日本
激光功率：100W
尺寸：H251×W200×D253（mm）激光.jpg

激光加熱實(shí)驗

使用 EXL-CT-010DS55，對安裝在真空室中的樣品進(jìn)行激光加熱。從樣品的背面（與激光照射表面相反）測量溫度分布。

1. 藍(lán)寶石襯底（φ2英寸） --- 適用于透明襯底

激光1.jpg

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日本SAKAGUCHI坂口電熱激光平板瞬時加熱裝置EXL-CT-010-DS55系列資料

ExLASER激光®

成就事例

激光加熱實(shí)驗

1. 藍(lán)寶石襯底（φ2英寸） --- 適用于透明襯底

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