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KASHIYAMA省能耐用干式真空泵MU-P/H系列工藝耐受性優良節能泵從輕負荷到蝕刻·CVD可廣泛使用搭載HOT-N2吹掃的MU-H系列

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KASHIYAMA工藝耐受性高節能真空泵MU-P/H系列工藝耐受性優良節能泵從輕負荷到蝕刻·CVD可廣泛使用搭載HOT-N2吹掃的MU-H系列

KASHIYAMA耐工藝節能干式真空泵工藝耐受性優良節能泵從輕負荷到蝕刻·CVD可廣泛使用搭載HOT-N2吹掃的MU-H系列

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KASHIYAMA水封真空泵節能，省電世界！！（※排氣速度同級）可嵌入所有制造裝置2萬臺以上的出貨和超長期運行實績

KASHIYAMA快速排氣型干式真空泵節能，省電世界！！（※排氣速度同級）可嵌入所有制造裝置2萬臺以上的出貨和超長期運行實績

KASHIYAMA干式真空泵節能，省電世界！！（※排氣速度同級）可嵌入所有制造裝置2萬臺以上的出貨和超長期運行實績

KASHIYAMA干式真空泵MU-X系列節能，省電世界！！（※排氣速度同級）可嵌入所有制造裝置2萬臺以上的出貨和超長期運行實績

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KASHIYAMA快速排氣15萬L/min以上真空泵SDL系列特點晶圓、FPD的切實應對大口徑化通過組合大排氣量可化。15萬L/min以上滿足上面的要求

KASHIYAMA大口徑快速排氣真空泵SD系列晶圓、FPD的切實應對大口徑化通過組合大排氣量可化。15萬L/min以上滿足上面的要求高速排氣縮短節拍時間，為了確...

KASHIYAMA高速排氣真空泵SDL系列晶圓、FPD的切實應對大口徑化通過組合大排氣量可化。15萬L/min以上滿足上面的要求高速排氣縮短節拍時間，為了確保大...

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KASHIYAMA省能型大排氣量真空泵SDE系列立式螺桿特殊材料的高耐腐蝕性以螺桿形狀節省能源支持所有進程

KASHIYAMA耐工藝大排氣量真空泵SDE系列立式螺桿特殊材料的高耐腐蝕性以螺桿形狀節省能源支持所有進程

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