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半導體晶圓表面缺陷的檢查,YAMADA鹵素光源YP-250I

時間:2024/2/2閱讀:447
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高亮度鹵素光源系統是一種宏觀觀察照明裝置,用于檢測最終成品表面的異物、劃痕、拋光不均勻、霧霾、滑移等

各種缺陷,是半導體晶圓和液晶襯底加工過程中費力的。


1.樣品表面可照射至400,000Lx以上。

2.采用鹵素燈作為光源,所以色溫高,照度不均勻,

導致照明非常穩定和銳利。

3.由于采用冷鏡,熱量的影響極

小,是常規鋁鏡的1/3。

4.兩段式切換機制,讓您一鍵切換

高照度觀察和弱光觀察。

YP-150I???照度范圍φ30 YP-250I???照度范圍φ60

(YP-250可選擇螺旋槳風扇型和管道風扇型。 )


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