ULVAC愛(ài)發(fā)科 通用型炎熱電離真空計(jì)轉(zhuǎn)氨酶 AxTRAN
ULVAC愛(ài)發(fā)科 通用型炎熱電離真空計(jì)轉(zhuǎn)氨酶 AxTRAN
操作性的提高：通過(guò)與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能：通過(guò)監(jiān)測(cè)燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測(cè)量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測(cè)定子。
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺(tái)三極管金屬電離真空計(jì)（正在申請(qǐng)）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計(jì)的使用壽命也很長(zhǎng)。
壓力測(cè)量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測(cè)量大氣壓：可以檢查腔體的開(kāi)啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí)）。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖?lèi)）的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于需要降低測(cè)定子更換頻率的真空設(shè)備
AxTRAN是在離子源和離子收集器之間配置了Bessel-Box型能量過(guò)濾器的熱陰極電離真空計(jì)。
由于降低了軟X射線，ESD離子等的剩余電流，實(shí)現(xiàn)了0.5×10 -10 Pa的測(cè)定分辨率。
特點(diǎn)
可以測(cè)量10 -11 Pa
可以減少諸如軟X射線和ESD離子之類(lèi)的剩余電流
測(cè)量區(qū)域廣1×10 -2～0.5×10 -10 Pa
標(biāo)準(zhǔn)壓力0～10V模擬日志輸出/每個(gè)數(shù)字內(nèi)1V線性輸出
可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
BCD/RS232C(可選)
