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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
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新型ULVAC愛發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6
  • 新型ULVAC愛發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 日本

更新時間:2024-09-02 22:39:48

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COSMO科斯莫
ULVAC愛發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

ULVAC愛發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6

ULVAC愛發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6

操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小(控制器體積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(jì)(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計(jì)的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。

可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時)。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

多傳感器

CRTS 系列

CRTS-M6

愛發(fā)科

CRTS-M6是為水晶振蕩式成膜控制器CRTM系列開發(fā)的回轉(zhuǎn)式多傳感器。
可以搭載5MHz或者6MHz的水晶振蕩片6枚,連續(xù)蒸發(fā)也可放心使用。

特點(diǎn)

  • 可搭載6枚5MHz或6MHz的水晶振動子

  • 使用了真空電機(jī)的獨(dú)-特驅(qū)動方式實(shí)現(xiàn)了高可靠性

  • 水晶震動子的更換非常方便

  • 當(dāng)檢測到水晶振動子振蕩異常時,可以自動進(jìn)行水晶振動子切換(當(dāng)CRTM系列用作控制器時)

  • 由于傳感器頭很小(直徑50mm),可以靈活地連接到成膜系統(tǒng)。

用途

  • 光學(xué)、光通信部品的蒸發(fā)

  • 有機(jī)物的蒸發(fā)

  • 電子部品,其他蒸發(fā)

規(guī)格

感測頭
已裝備水晶數(shù)量6 件
晶體容量4MHz、 5MHz 或 6MHz(可選)AT 切割晶體
耐熱溫度350℃
冷卻水量1升/分鐘
重量1公斤
方面Φ50mm x H 約89mm


控制器
數(shù)字輸入初始化、計(jì)數(shù)、停止
數(shù)字輸出傳感器編號、忙碌、錯誤、重試、結(jié)束
公用事業(yè)DC24V,3.0A
尺寸 寬×深×高100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米



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