ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計(jì)（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計(jì)的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用 的測量方式，實(shí)現(xiàn)了高速測量和機(jī)體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括 的便攜式，自動式和對應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通過自動R-θstage和自動對焦功能，快速自動測量整個樣品表面的膜厚，并通過彩色地圖顯示膜厚分布。
特點(diǎn)
高速測定：
的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測量。
適用于可見光譜：
波長范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛，包括如 的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。
