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17607554908
當(dāng)前位置：池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司>>HORIBA堀場>> EC-5104池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器
產(chǎn)品型號EC-5104
品 牌HORIBA/堀場
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-08-07 16:53:14瀏覽次數(shù)：291次
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HORIBA堀場 數(shù)字水質(zhì)計(jì)pH 計(jì) D-220P-S
HORIBA堀場 現(xiàn)場型便攜式pH計(jì) D-210P
HORIBA堀場 WQ - 320PD-S多數(shù)字 pH/光學(xué) DO 套
HORIBA堀場 WQ-310D-S 便攜式多功能數(shù)字水質(zhì)計(jì)
HORIBA堀場 WQ-310P-S 多功能數(shù)字水質(zhì)計(jì)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-5萬 |
|---|---|---|---|
| 試驗(yàn)力加載速率 | 見資料 | 壓板間距 | 見資料mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材/家具,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 | 最大試驗(yàn)力 | 見目錄KN |
| 訂貨號 | 176.0755.4908. |
池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器
池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器
對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微小壓力控制，還可以進(jìn)行流量測量。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經(jīng)過驗(yàn)證的電容式壓力傳感器，可以在低壓下進(jìn)行精確的壓力控制。
壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。
對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微壓差控制，還可以進(jìn)行流量測量。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
供貨精準(zhǔn)穩(wěn)定
配備質(zhì)量
流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器，可以以與原料氣體供應(yīng)過程相同的精度監(jiān)控實(shí)際流量。
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以進(jìn)行類似的設(shè)計(jì)和構(gòu)造。
符合RoHS指令
這是一款配備數(shù)字控制電路的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。
采用全金屬結(jié)構(gòu)（氣體接觸部分）和無死體積結(jié)構(gòu)，可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中，例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統(tǒng)。
| 互動(dòng)規(guī)模 | 西北40 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
| 電導(dǎo) （真空區(qū)域） | 0.4～80升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 20升/分鐘
|
| 互動(dòng)規(guī)模 | 西北50 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
| 電導(dǎo) （真空區(qū)域） | 0.6～200升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 25升/分鐘 |
| 互動(dòng)規(guī)模 | 25mm Teflon® 接頭 1 英寸 Teflon® 接頭 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | PTFE、PEEK、Viton® |
| 電導(dǎo) （真空區(qū)域） | 0.4～80升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 3升/分鐘 |
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