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精密平臺是什么?

2025-3-8  閱讀(153)

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精密平臺是可以在X、Y方向或者旋轉方向上精確移動的平臺。

可移動軸的數量根據型號不同而不同,有各種類型的精密平臺可供選擇,從1軸到4軸或更多。

平臺由小螺距進給絲杠移動,千分尺或帶減速器的電機使工作臺以微米級移動,適合觀察極小的樣品。

雖然平臺可以精確移動,但運動范圍很小,只有幾厘米,因此不適合需要平臺大幅度移動的應用。

精密平臺的應用

精密平臺允許沿每個軸(包括 X、Y、Z 和其他三個旋轉軸)進行精確和獨立的移動,并且用于需要精確控制樣品位置的情況。

可用作觀察半導體元件等微小物體的顯微鏡載物臺、固定加工機進行精密加工的工件的載物臺、檢查光學鏡頭時用于對準光軸的檢查載物臺、或用于連接具有高精度定位的部件的載物臺。

精密平臺的原理

精密平臺是高精度的線性導軌、進給絲杠、以及使進給絲杠旋轉的千分尺或帶減速器的電動機構成,這些機構的數量與可動軸的數量相同。當進給螺桿伸出一次時,平臺就會移動螺桿的螺距(約幾十分之一毫米)。

使用千分尺時,可以通過讀取千分尺上刻制的特殊刻度來確定移動量。

使用電機時,電機內部裝有旋轉編碼器。,檢測旋轉次數,從而控制平臺的移動量。

根據應用情況,精密平臺有多種產品可供選擇,從僅具有 X 軸的單軸平臺,到具有 X 和 Y 軸的雙軸平臺,再到包括 Z 軸和旋轉的三軸到六軸平臺。 6軸精密平臺可以只使用1個軸,即“以小博大",但由于精密平臺的可動軸越多,其價格就越高,因此建議選擇具有 低必要規格的平臺。


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