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1、 用于金屬材質的檢測、如：
①、移動、位置、位移、膨脹、尺寸
②、振動、偏移、間隙、諧振
③、軸承振動、潤滑間隙、磨損、偏移
④、換向器不圓度、圓度、氣隙、分度
2、用于機械轉軸的轉速測量和監控
在需要建立和維護位置偏置與容差的工程應用中，位移傳感器的使用十分廣泛。根據要求的不同，測量位移的范圍也相差很大，從需要用長波長微波器件測量公里級的位移，到短波長微波器件測量米級的位移，到常用的各種位移傳感器測量的毫米級位移，以及用激光干涉法測量微米級位移，直到用x射線衍射(x-ray diffraction，xrd)干涉法測量亞納米級位移。
