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優點
X射線熒光光譜儀可以在短時間內同時測量幾乎所有比鎂重的元素。可以對固體和液體進行無損分析，如果使用手持設備，則可以隨身攜帶它到任何地方，只需將設備壓在待分析物體上幾秒鐘即可完成測量。
缺點
X射線熒光光譜儀不擅長檢測輕元素，不適合分析有機物的主要構成元素氫、碳、氮、氧。此外，只能測量元素的存在和數量，但不可能確定元素的組合。
例如，如果檢測到鐵，則無法確定它是金屬鐵還是氧化鐵，因此即使檢測到鉀和氯，也無法斷定存在lv化鉀。
