超純水是一種極其純凈的水，其純度，幾乎沒(méi)有任何雜質(zhì)。它被廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、制藥等領(lǐng)域，因?yàn)樗軌虼_保產(chǎn)品的高質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

在電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域，超純水被用于清洗和稀釋材料，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

該裝置是對(duì)超純水進(jìn)行加熱。加熱部由高品質(zhì)石英玻璃雙層覆蓋的鹵素?zé)魳?gòu)成，是無(wú)雜質(zhì)污染的高效率超純水加熱裝置。另外，特別緊湊、精巧的設(shè)計(jì)可*大限度地減少使用點(diǎn)的安裝空間。

化學(xué)循環(huán)器

采用無(wú)金屬離子的溶出污染的在線式冷卻加熱器，是濕法工藝中的直接循環(huán)式藥液恒溫裝置。

KOMATSU化學(xué)循環(huán)器能夠高精度地控制BCA消洗和濕法蝕刻中使用的藥液溫度，作為半導(dǎo)體制造的濕法工藝中的設(shè)備，得到了廣泛的喜愛(ài)。

化學(xué)加熱器

無(wú)金屬離子的溶出污染的在線式電阻加熱器方式藥液加熱裝置。

KOMATSU化學(xué)加熱器是用于RCA清洗和混法蝕刻中使用的各種藥液的高溫加熱用，使用了在短時(shí)間內(nèi)高精度地控制溫度的電阻式加熱器的在線式加熱器。由于在接觸液部中僅使用氟樹(shù)脂和高純度玻璃狀碳，所以不存在雜質(zhì)污染的擔(dān)心。

電子除濕器

KOMATSU電子除濕器以其高精度、可靠性和便利性，作為各種氣體分析儀的預(yù)處理裝置，深受各用戶的好評(píng)。

半導(dǎo)體濕法工藝藥液溫度管理

在半導(dǎo)體濕法工藝中，藥液溫度管理是非常重要的一環(huán)。濕法工藝是指利用化學(xué)反應(yīng)或物理過(guò)程，在半導(dǎo)體材料上制備薄膜、圖案或其他結(jié)構(gòu)的過(guò)程。在濕法工藝中，溫度對(duì)化學(xué)反應(yīng)速率、物理過(guò)程以及*終的制成品質(zhì)量都有重要影響。

為了實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、高效率生產(chǎn)，必須**控制溫度，并采取相應(yīng)的措施來(lái)減少溫度變化對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的影響。

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KOMATSU溫控設(shè)備在半導(dǎo)體制造工藝中的應(yīng)用

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