掃描光學系統(tǒng)和聚光光學系統(tǒng)
無掩模光刻，一般根據(jù)CAD數(shù)據(jù)進行直描加工。
根據(jù)掃描方法不同，可分為掃描光學系統(tǒng)和聚光光學系統(tǒng)。（也有兩者結(jié)合的混合型）
| 掃描光學系統(tǒng) | 聚光光學系統(tǒng) |
| 掃描方法 | 振鏡掃描 | 平臺掃描 |
| 掃描速度 | 高速 | 低速 |
| 掃描區(qū)域 | 小 | 大 |
| 聚光方法 | fθ透鏡 | 物鏡 |
| 光斑尺寸 | 數(shù)10μ ? 數(shù)100μ | 亞微米 ? 數(shù)10μ |
| 焦點深度 | 大 | 小 |
掃描系統(tǒng)
聚光系統(tǒng)（附觀察系統(tǒng)）
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