掃描光學系統和聚光光學系統
無掩模光刻，一般根據CAD數據進行直描加工。
根據掃描方法不同，可分為掃描光學系統和聚光光學系統。（也有兩者結合的混合型）
| 掃描光學系統 | 聚光光學系統 |
| 掃描方法 | 振鏡掃描 | 平臺掃描 |
| 掃描速度 | 高速 | 低速 |
| 掃描區域 | 小 | 大 |
| 聚光方法 | fθ透鏡 | 物鏡 |
| 光斑尺寸 | 數10μ ? 數100μ | 亞微米 ? 數10μ |
| 焦點深度 | 大 | 小 |
掃描系統
聚光系統（附觀察系統）
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