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V70-PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥
  • V70-PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥
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貨物所在地:浙江杭州市

更新時(shí)間:2025-03-31 10:07:56

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PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥(V70系列)適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或化學(xué)氣相沉積(CVD),其技術(shù)采用單軸氣動(dòng)執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)的L型運(yùn)動(dòng)。在L型運(yùn)動(dòng)中,隔板垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置——無(wú)需與閥體接觸——然后在最終運(yùn)動(dòng)中水平推至隔板座,密封件以固定力接觸隔板座,該力與連接的氣壓相關(guān)。這不僅避免了摩擦和由此產(chǎn)生的潛在顆粒生成,還最小化了密封件的磨損。

PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥V70系列

為了最小化顆粒生成和激活,隔板上安裝了插入式O形圈密封,硫化密封件是一種選擇。這是一種高度可靠且比標(biāo)準(zhǔn)O形圈密封更耐用的密封解決方案,盡管標(biāo)準(zhǔn)O形圈密封也可作為選項(xiàng)提供。軸通過(guò)高耐用金屬焊接波紋管進(jìn)行密封。


在斷電情況下,V70可以在關(guān)閉位置機(jī)械鎖定。 已經(jīng)在各種半導(dǎo)體、太陽(yáng)能和工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的數(shù)百個(gè)苛刻應(yīng)用中安裝使用,V70系列已證明了其很好的可靠性。憑借其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)以及簡(jiǎn)化和易于維護(hù)的特點(diǎn),V70系列在各個(gè)方面都令人信服。


V70換向閥始終根據(jù)客戶規(guī)格定制。盡管如此,四種基本設(shè)計(jì)類型是預(yù)定義的:兩種具有不同后側(cè)開(kāi)口的閥門類型和兩種具有內(nèi)部或外部腔室閥座的插入類型。


閥體材料選項(xiàng)包括鋁、硬陽(yáng)極氧化、鎳鍍層或不銹鋼。閘門和蓋子密封件為FKMFFKM。其他密封材料可根據(jù)要求提供。


特征:

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用(E21-94 E24-92 E21.1-1296

l低振動(dòng)。獲得認(rèn)證的L形運(yùn)動(dòng)連桿和執(zhí)行器中無(wú)彈簧的雙換檔可實(shí)現(xiàn)更快的速度

l更平穩(wěn)的氣動(dòng)執(zhí)行器

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置


優(yōu)點(diǎn):

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計(jì)有固定器,以防止拆卸時(shí)螺栓脫落


應(yīng)用

l半導(dǎo)體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽(yáng)能電池板制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統(tǒng)


PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥V70系列

技術(shù)參數(shù)

PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥

PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥


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