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EBARA EV-SA系列真空干泵
EBARA EV-SA系列真空干泵
是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設計，最大排氣速度達到5000L/min，具有節能、低噪的優點，除了用于生產工廠以外，還可用于實驗室和研究室等各種不同環境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優質選擇。
技術特點：
l 小型、輕量、占地面積小
l 風冷
l 節能
l 低噪音
l 雙螺桿結構
l 無需維護
l 認證標準： CE、SEMI-S2/NRTL
典型應用：
l 科研實驗室
l PVD真空鍍膜
l 質譜儀
l 等離子清洗
l 半導體、光伏制程
技術參數：
設備名稱 | 單位 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |||||||
排氣速度 | L/min | 1,670 | 3,300 | 5,000 | |||||||
極限壓力 | Pa | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |||||||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW40 | NW40 | NW50 | ||||||
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | |||||||
極限壓力時功率概值 | kW | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |||||||
冷卻方式 |
| 空冷 | 空冷 | 空冷 | |||||||
電源 | 額定電壓 50/60Hz |
| 單相 200-240V | 單相 200-240V | 單相 200-240V | ||||||
電壓允許波動范圍 |
| ±10% | ±10% | ±10% | |||||||
電源容量 | kVA | 3.0 | 3.0 | 3.0 | |||||||
質量概值 | kg | 65 | 90 | 150 | |||||||
*為氣鎮打開時數值 | |||||||||||
尺寸圖：
型號 | EV-SA20 | EV-SA30 | |
尺寸（mm） | 長 | 584 | 713 |
寬 | 324 | 356 | |
高 | 347 | 347 | |
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