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INFICON英福康膜厚控制儀OLED專用
OLED 應用提供最佳測量精度
Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上，增添了更多特別的功能，可幫助您實現 OLED 過程的最大價值。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業(yè)中的優(yōu)秀者。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器更好的性能、品質和功能，賦予您的過程優(yōu)秀的可重復性。
功能
l INFICON ModeLock 技術確保獲得最高、更穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
l Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度
l 一個 Cygnus 2 即可同時、單獨或以任何組合方式控制最多 6 個來源，無需使用兩個或三個控制器
l 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
l 10 Hz 測量
l 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
l USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
l 多個源厚度合計功能
l 測量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積最多 30 秒）
l 速率顯示分辨率可達 0.001?
l 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
l 無沉積控制允許持續(xù)控制源，因為基片可以通過沉積室不斷循環(huán)
l 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
l 可選以太網通信
l 符合 RoHS 標準
INFICON英福康膜厚控制儀OLED專用
規(guī)格
測量性能 | |
厚度和速率分辨率/測量 (1) | ±0.00433 ? |
測量頻率范圍 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) |
過程配方和數據管理 | |
材料計劃 | 6 independent materials |
來源數量 (2) | up to 6 |
(1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲
(2) Cygnus 2 有 6 個 DAC 輸出標準，還可選擇再添加 6 個。 可將 12 個中的任何一個配置為來源控制電壓或記錄器輸出，但可同時控制的來源數量為 6
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