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VAT 61.3壓力控制蝶閥
VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實現出色的壓力控制；憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節流元件，改變閥門開度的流導特性。61.3 系列壓力控制蝶閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置，以盡快實現設定壓力。該系列產品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持精確正常運行。
61.3 系列控制閥已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其穩定的可靠性。憑借堅固的設計、直接安裝選項，以及簡單且輕松的維護，61.3 系列控制閥在各個方面都令人信服。
閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成。
61.3 蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成，標準法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F，可以集成客戶定制法蘭和特殊功能，如集成式絕緣加熱器?？筛鶕筇峁└鞣N全氟橡膠/氟橡膠彈性體（氟橡膠為標準選項）。
61.3壓力控制蝶閥的主要特點:
穩定的壓力控制
運行非?？?/p>
板載軟件，用于本地運行
惡劣工藝條件下可實現可靠運行
工藝可控性更好
正常運行時間長/性能不受限
運行成本低
61.3系列壓力控制蝶閥尺寸圖：
61.3系列壓力控制蝶閥技術參數：
尺寸 | DN 25 (1’’) DN 40 (1?’’), DN 50 (2’’), | ||
驅動器 | 帶步進電機的集成控制器，面向現場的控制 (foc) | ||
閥體材料 | 鋁或不銹鋼 | ||
標準法蘭 | ISO-KF, ISO-F | ||
泄漏率 | 鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
不銹鋼 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
壓力范圍 | 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar | ||
維護前開關次數 | 壓力控制 | 兩百萬 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 150 °C | |
材材 | 閥體、閥板 | 鋁 | EN AW-6082 (3.2315) |
軸 | AISI 316L (1.4404 或 1.4435) | ||
密封 | 饋通件 | FKM (其他按要求) | |
饋通件 | 旋轉軸，直接驅動 | ||
安裝位置 | 任何（建議安裝在真空泵的一側） |
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