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MF3000系列氣體質量流量計
產品簡介：
MF3000系列氣體質量流量計直接測量氣體質量流量。該流量計工作壓力提高到0.8MPa，測量范圍涵蓋（0～2）SLPM到（0～1500）SLPM。本產品可用于工業應用中的焊接機器、激光設備、氣體混合控制等。
產品特點：
l 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償
l 在單個芯片上實現了多傳感器集成，量程比高
l 全量程高精確度和優良的重復性
l 響應速度快
l 可選擇LED顯示瞬時流量與累積總量和按鍵功能
l 多種輸出方式
l 多種連接方式
產品尺寸圖：
技術參數：
參數 | MF3000 | 單位 | ||||
最大流量（空氣，氮氣，氧氣，氬氣） | 2,5,10,20,50 | 100,200 | 500,1000,1500 | SLPM | ||
最大流量（二氧化碳） | 2,5,10,20 | 50,100 | 200,500,800 | SLPM | ||
量程比 | 30:1 | |||||
精度2 | ±(2.5+0.5FS) | % | ||||
重復性 | 0.8+0.15FS | % | ||||
零點輸出漂移 | ±30 | mV | ||||
輸出漂移 | ±0.12 | %/°℃ | ||||
響應時間 | 10 | ms | ||||
工作電源 | 8~24VDC,50mA | |||||
信號輸出1（數字信號） | RS485/PC | |||||
信號輸出2／3 | 模擬電流4～20mA／模擬電壓1～5VDC／NPN／PNP | |||||
工作壓力（表壓） | 0.05~0.8 | MPa | ||||
工作溫度 | -10~+55 | ℃ | ||||
儲存溫度 | -20~+65 | ℃ | ||||
工作濕度 | ＜95％RH（無結冰、無凝露） | |||||
機械接口 |
BSPT1／4外螺紋、 BSPT1／4外螺紋、4／6／8mm快速接頭 8mm快速接頭 BSPT1／2內螺紋或8mmL型接頭 或8mmL型接頭 | |||||
標準校準氣體 | 空氣（20℃，101.325kPa） | |||||
符合性 | RoHS,REACH | |||||
1以上參數在為20℃，101.325kPa下測得；
2，為了確保流量計的測量精度，使用前需要預熱一分鐘，傳感器默認為空氣校準，測量其他氣體時候，精度會有所下降；
產品選型：
型號 | 最大流量（空氣） | 機械接口 |
MF3000 | 2,5,10,20,50SLPM | R-BSPT1／4外螺紋（R1／4螺紋）；O4／O6／O8-4／6／8mm快速接頭；L8-8mmL型接頭 |
100,200SLPM | R-BSPT1／4外螺紋（R1／4螺紋）；08-8mm快速接頭；L8-8mmL型接頭 | |
500,1000,1500SLPM | R-BSPT 1／2內螺紋（Rc 1／2螺紋） |
3，最大流量的單位為SLPM，比如200代表最大流量為200SLPM，
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