波蘭prevac基本質譜系統032 PRIMS的產品介紹

時間：2024/8/27閱讀：511

波蘭prevac基本質譜系統032 PRIMS的產品介紹

簡單且功能齊全的濺射沉積裝置，用于可重復的薄膜層應用。即插即用的緊湊設計。

工藝室包含 3 個磁控濺射源端口（用于金屬和無機物），采用濺射向下配置安裝。最多可同時使用兩個源（共沉積）基底臺適用于直徑最大 2 英寸的樣品，具有加熱和旋轉選項。

特征

1.即插即用結構

2.易于使用的移動裝置，可快速測試和濺射涂層

3.處理室配有大型真空門，方便更換靶材或基材

4.配備MS2 100 ISO-K 磁控管源和新型M600DC-PS 電源

5.可承載直徑達 2英寸樣品的基片臺

6.加工室直徑：? 355 毫米

7.3 個2 英寸磁控管源端口

8.1 個視口 – 帶百葉窗的觀察窗

9.防止交叉污染的保護屏障

10.基準壓力范圍 10 -7 mbar

11.帶真空計的快速抽氣系統

12.通過質量流量控制自動計量氬氣

描述

快速泵送系統（帶有手動節流閥）與小容量的工藝室相結合，使您能夠在短時間內達到基準壓力。

工藝室配備HV標準的連接法蘭，用于連接現有和未來的設備，包括：最多 3 個2" 磁控管源，基板操縱器，泵送系統m,防止交叉污染的保護盾，石英天平，視口 - 帶百葉窗的觀察窗，真空計，高溫計。

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